freesecs
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Circa freesecs
FREESECS è un progetto open source per gli standard SEMI SECS. Il software è compilato con GNU autotools/GCC e gira su Linux OS. FREESECS include HSMS-SS(SEMI E37.1), SECSII(SEMI E5), 300mm & Interface A (pianificato). Vedi http://opensecs.sourceforge.n