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FreeDATA

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Circa FreeDATA

Pacchetto di analisi dei dati di microlitografia in grado di montare set di dati di tipo Bossung, noti anche come matrici di esposizione alla messa a fuoco. Parole chiave: litografia, fotolitografia, fotoresist, finestra di processo, dimensione critica, CD, Bossung, FEM

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