Pacchetto di analisi dei dati di microlitografia in grado di montare set di dati di tipo Bossung, noti anche come matrici di esposizione alla messa a fuoco. Parole chiave: litografia, fotolitografia, fotoresist, finestra di processo, dimensione critica, CD, Bossung, FEM
cronologia delle versioni
- Versione N/A pubblicato il 2011-08-11
Diverse correzioni e aggiornamenti - Versione N/A pubblicato il 2011-08-11
Dettagli del programma
- Categoria: Sviluppo > Altro
- Editore: freedata.sf.net
- Licenza: Gratuito
- Prezzo: N/A
- Versione: Array
- Piattaforma: windows